半导体行业需求回暖叠加中国大陆晶圆厂持续扩产，国内半导体设备市场长期有望稳健增长。质量控制贯穿晶圆制造全过程，是芯片生产良率的关键保障，先进制程将对工艺控制水平提出更高要求，量检测设备价值量有望倍增。我们测算，2023/2024/2025/2026年全球半导体量检测设备市场空间分别为105/120/138/145亿美元，CAGR达11.5%，中国大陆半导体量检测设备市场空间分别为35/41/48/51亿美元，CAGR达12.8%。

　　我们测算，2022年全球光学/电子束/X光检测设备市场份额分别为74.2%/19.7%/2.2%boyu博鱼体育，光学检测速度快、无接触，然而先进节点检测灵敏度有限；电子束检测精度较高，然而速率较慢、boyu博鱼体育设备成本较高；随着芯片材料和结构复杂性持续提升，多系统组合有望成为检测技术方向。

　　据VLSIResearch、QYResearch，2020年全球半导体量检测设备行业CR5达82%，KLA历经多次并购，产品种类齐全，2020年KLA量检测设备全球市占率达51%；ASML将量检测设备与EUV系统配套，电子束检测设备竞争优势显著，据the information network，2022年ASLM电子束检测设备全球市占率达50%。目前量检测设备国产化率较低，本土主要供应商包括上海精测、中科飞测和睿励仪器，2018-2022年三家公司国内市场份额合计0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地缘因素影响下，量检测设备国产替代正在加速。

　　半导体量检测设备空间广阔，国产替代正在加速，建议关注精测电子、boyu博鱼体育中科飞测boyu博鱼体育、中微公司、赛腾股份、boyu博鱼体育天准科技。1）精测电子：立足面板检测主业，半导体产品持续完善，明场检测设备进展领先；2）中科飞测：聚焦量检测设备近十年，纳米图形晶圆缺陷检测、关键尺寸量测等设备加速研发；3）中微公司：多次增资睿励仪器，量检测收入持续增长；4）赛腾股份：收购日本Optimaboyu博鱼体育，布局晶圆检测设备；5）天准科技：加速布局半导体领域，首台明场检测设备已交付客户试用。首次覆盖，给予半导体前道量检测设备行业“推荐”评级。

　　风险提示：半导体行业景气度复苏不及预期；半导体设备国产替代不及预期；行业竞争加剧风险；市场空间测算偏差风险；重点关注公司业绩不及预期；研究报告使用的公开资料可能存在信息滞后或更新不及时的风险等。

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